Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Duva |
Автор: | Duval P. |
Назва: | High Vacuum Production in the Microelectronics Industry |
Видавництво: | Elsevier |
Місто: | Amsterdam |
Рік: | 1989 |
Сторінок: | 222 с. |
ББК: |
З851-06+З776 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|