Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
103335 |
Автор: | Урман Павла Никандровна |
Назва: | Исследование распределения примеси при локальном диффузионном и ионном легировании полупроводников |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. физ.-мат.наук: 01.04.10 |
Відповідальність: |
Урман Павла Никандровна; Горьк. гос. ун-т им. Н.И.Лобачевского |
Місто: | Горький |
Рік: | 1975 |
Сторінок: | 20л. |
ББК: |
В379.222 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|