Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
115688 |
Автор: | Тюлькин Владимир Михайлович |
Назва: | Исследование нестабильности проводимости пленок аморфного нитрида кремния и явления деградации МНОП-элементов памяти |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. физ.-мат.наук: 01.04.10 |
Відповідальність: |
Тюлькин Владимир Михайлович; МВ и ССО СССР. Моск. физ.-техн. ин-т |
Місто: | М. |
Рік: | 1979 |
Сторінок: | 21л. |
ББК: |
В379.312.6 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|