Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
94249 |
Автор: | Степанова А.Н. |
Назва: | Влияние примесей PCl3 и А5Cl3 на механизм роста автоэпитаксильных пленок германия из газовой фазы. |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд.физ-мат.наук: 01.04.18 |
Відповідальність: |
Степанова А.Н.; АН СССР.Ин-т кристаллографии. |
Місто: | М |
Рік: | 1973 |
Сторінок: | 20л. |
ББК: |
В379 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|