Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
76452 |
Автор: | Сладков И.Б. |
Назва: | Исследование процесса осаждения и свойствэпитаксиальных слоев кремния, легированных бором. |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд.техн.наук: 326 |
Відповідальність: |
Сладков И.Б.; Ленингр.политехн.ин-т. |
Місто: | Л |
Рік: | 1971 |
Сторінок: | 16л. |
ББК: |
К294 |
Тип документу: |
Автореферат |
З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека читачів не обслуговує.
|
|
|
Вибачте, зараз проходить оновлення бази системи, тому пошук тимчасово недоступний.
Спробуйте будь ласка через 20 хвилин
|
|