Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
76452 |
Автор: | Сладков И.Б. |
Назва: | Исследование процесса осаждения и свойствэпитаксиальных слоев кремния, легированных бором. |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд.техн.наук: 326 |
Відповідальність: |
Сладков И.Б.; Ленингр.политехн.ин-т. |
Місто: | Л |
Рік: | 1971 |
Сторінок: | 16л. |
ББК: |
К294 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|