Опис документа:
| |
| Шифр: |
А |
| Авт. знак: |
76452 |
| Автор: | Сладков И.Б. |
| Назва: | Исследование процесса осаждения и свойствэпитаксиальных слоев кремния, легированных бором. |
| Від. щодо назв.: |
Автореф... канд.техн.наук: 326 |
| Відповідальність: |
Сладков И.Б.; Ленингр.политехн.ин-т. |
| Місто: | Л |
| Рік: | 1971 |
| Сторінок: | 16л. |
| ББК: |
К294 |
| Тип документу: |
Автореферат |
З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека
читачів не обслуговує.
|
|
|
|
|
