Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
67828 |
Автор: | Рамендик Г.И. |
Назва: | Разработка масс-спектрометрического метода послойного анализа полупроводниковых пленок. |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд.техн.наук: 298 |
Відповідальність: |
Рамендик Г.И.; АН СССР. Ин-ь геохимии и аналит.химии. |
Місто: | М |
Рік: | 1970 |
Сторінок: | 20л. |
ББК: |
З852 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|