Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
139037 |
Автор: | Панкевич І.М. |
Назва: | Прогнозування та модифікація лазерним випромінюванням властивостей шаріполікремнію в структурах "Кремній-На-Діелектрику". |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. техн.наук: 05.27.01 |
Відповідальність: |
Панкевич І.М.; Держ. ун-т "Львів. політехніка". |
Місто: | Львів |
Рік: | 1996 |
Сторінок: | 22л. |
ББК: |
З233.12 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|