Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
110899 |
Автор: | Мамаев Геннадий Иванович |
Назва: | Исследование элионных процессов и разработка оборудования для создания топологии микросхем |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. техн.наук: 05.12.19 |
Відповідальність: |
Мамаев Геннадий Иванович; Ленингр. электротехн. ин-т |
Місто: | Л. |
Рік: | 1978 |
Сторінок: | 18л. |
ББК: |
З844.1 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|