Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
138420 |
Автор: | Матвійків Олег Михайлович |
Назва: | Розробка моделей і методів газофазного осадження в вузлах складної форми для технологічних сапр РЕЗ |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. технічн.наук: 05.13.05 |
Відповідальність: |
Матвійків Олег Михайлович; Державний Університет "Львівська Політехніка" |
Місто: | Львів |
Рік: | 1995 |
Сторінок: | 20л. |
ББК: |
Ж2-5-05 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|