Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
52339 |
Автор: | Лаукманис Л. А. |
Назва: | Кинетика эаитаксильного наращивания и газового травления германия и кремния |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. физ. мат.наук: |
Відповідальність: |
Лаукманис Л. А.; Объед. сов. От-ния физ. техн. наук АН Латв.ССР |
Місто: | Рига |
Рік: | 1968 |
Сторінок: | 14л. |
ББК: |
В379.251.4 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|