Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
105192 |
Автор: | Карманов В.Т. |
Назва: | Особенности диффузии примесей в кремнии при ионной бомбардировке |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 |
Відповідальність: |
Карманов В.Т. ; Гор. ГУ |
Місто: | Горький |
Рік: | 1976 |
Сторінок: | 17 с. |
ББК: |
К208 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|