Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
133802 |
Автор: | Калшабеков Арайбек Салыбекович |
Назва: | Взаимосвязь рекомбинационных характеристик системы Si-SiO2-Si3N4 с методиками синтеза и обработки диэлектрических слоев |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. физ.-мат.наук: 01.04.10 |
Відповідальність: |
Калшабеков Арайбек Салыбекович; КГУ им. Т.Г.Шевченко |
Місто: | К. |
Рік: | 1989 |
Сторінок: | 15л. |
ББК: |
В379.331.3 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|