Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
99046 |
Автор: | Грейсух М. Р. |
Назва: | Исследование некоторых вопросов легирования полупроводников в эпитаксиальной технологии |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. техн.наук: 05.17.16 |
Відповідальність: |
Грейсух М. Р.; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. хим. |
Місто: | Новосибирск |
Рік: | 1975 |
Сторінок: | 27л. |
ББК: |
З233-06 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|