Опис документа:
| |
| Шифр: |
А |
| Авт. знак: |
99046 |
| Автор: | Грейсух М. Р. |
| Назва: | Исследование некоторых вопросов легирования полупроводников в эпитаксиальной технологии |
| Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. техн.наук: 05.17.16 |
| Відповідальність: |
Грейсух М. Р.; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. хим. |
| Місто: | Новосибирск |
| Рік: | 1975 |
| Сторінок: | 27л. |
| ББК: |
З233-06 |
| Тип документу: |
Автореферат |
|
|