Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
79470 |
Автор: | Горбунова Н. А. |
Назва: | Исследование процессов образования и свойств пленок, полученных осаждением изионного пучка |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. техн.наук: |
Відповідальність: |
Горбунова Н. А.; МВиССО РСФСР, Новосиб. электротехн. ин-т |
Місто: | Новосибирск |
Рік: | 1971 |
Сторінок: | 20л. |
ББК: |
З851-06 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|