Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
104838 |
Автор: | Генкина Н.А. |
Назва: | Исследование изменений структуры и свойств диэлектрических пленок после ионной имплантации и отжига |
Від. щодо назв.: |
Автореф... Канд.физ-мат.наук: 01.04.10 |
Відповідальність: |
Генкина Н.А.; Горьк.гос.ун-т. |
Місто: | Горький |
Рік: | 1976 |
Сторінок: | 18л. |
ББК: |
В379 |
Тип документу: |
Автореферат |
З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека читачів не обслуговує.
|
|
|
Вибачте, зараз проходить оновлення бази системи, тому пошук тимчасово недоступний.
Спробуйте будь ласка через 20 хвилин
|
|