Опис документа:
| |
| Шифр: |
А |
| Авт. знак: |
93658 |
| Автор: | Гаврилов Николай Николаевич |
| Назва: | Контроль пленочных схем в процессе производства по тепловому излучению |
| Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. техн.наук: 01.04.03 |
| Відповідальність: |
Гаврилов Николай Николаевич; МВ и ССО СССР. Днепропетровский гос. ун-т |
| Місто: | М. |
| Рік: | 1973 |
| Сторінок: | 16л. |
| ББК: |
З844.1 |
| Тип документу: |
Автореферат |
|
|