Оптимізація систем іонно-променевого та плазмо-хімічного травлення на базі високочастотного розряду

eng

Увага! Відтепер можна отримати пластиковий читацький квиток також за адресою:
проспект академіка Глушкова 2, кім. 217.
Подробиці читайте тут.

Список містить (0 документів)
Ваше замовлення (0 книжок)
Перегляд стану та історії замовлень
Допомога

Опис документа:


Шифр:	А
Авт. знак:	139839
Автор:	Будянський О. М.
Назва:	Оптимізація систем іонно-променевого та плазмо-хімічного травлення на базі високочастотного розряду
Від. щодо назв.:	Автореф... канд. техн.наук: 05.11.21
Відповідальність:	Будянський О. М.; Наук. фізико-технол. центр, МО України, НАН України
Місто:	Х.
Рік:	1997
Сторінок:	15л.
ББК:	В338.411
Тип документу:	Автореферат

Розділ:

Назва:

Будь ласка, пишіть 2-3 слова з назви БЕЗ ЗАКІНЧЕНЬ!
Так імовірніше знайти потрібний документ!

слова не коротші ніж 3 символів, розділені пробілами

Автор:

Будь ласка, пишіть прізвище автора без ініціалів!

не коротше ніж 2 символи

є повний текст

Рік видання:

Видавництво:

з по

Види документів:

Книга Брошура Конволют (штучно створена збірка) Рідкісне видання

Автореферат Дисертація

Журнал Газета

Стаття Складова частина документа


	Цей сайт створено за спiльною програмою UNDP та Київського нацiонального унiверситету iменi Тараса Шевченка проект УКР/99/005

	© 2000-2010 yawd, irishka, levsha, alex