Опис документа:
| |
| Шифр: |
А |
| Авт. знак: |
139839 |
| Автор: | Будянський О. М. |
| Назва: | Оптимізація систем іонно-променевого та плазмо-хімічного травлення на базі високочастотного розряду |
| Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. техн.наук: 05.11.21 |
| Відповідальність: |
Будянський О. М.; Наук. фізико-технол. центр, МО України, НАН України |
| Місто: | Х. |
| Рік: | 1997 |
| Сторінок: | 15л. |
| ББК: |
В338.411 |
| Тип документу: |
Автореферат |
З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека
читачів не обслуговує.
|
|
|
|
|
