Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
139351 |
Автор: | Бойко Т. Г. |
Назва: | Низькотемпературна дифузія фосфору в кремній з твердих планарних джерел |
Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. техн.наук: 05.27.03 |
Відповідальність: |
Бойко Т. Г.; Держ. ун-т "Львів. політех." |
Місто: | Львів |
Рік: | 1996 |
Сторінок: | 21л. |
ББК: |
З233.12 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|