Опис документа:
| |
| Шифр: |
А |
| Авт. знак: |
127367 |
| Автор: | Босяков Михаил Никифорович |
| Назва: | Исследование плазмохимических процессов обработки поверхности в производстве интегральных схем методами оптической диагностики |
| Від. щодо назв.: |
Автореф... канд. физ.-мат.наук: 01.04.08 |
| Відповідальність: |
Босяков Михаил Никифорович; АН БССР. Ин-т физики |
| Місто: | Минск |
| Рік: | 1982 |
| Сторінок: | 17л. |
| ББК: |
З844.15-060.6 |
| Тип документу: |
Автореферат |
З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека
читачів не обслуговує.
|
|
|
|
|
