Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
138039 |
Автор: | Виткін С.В. |
Назва: | Вплив Фізико-технологічних факторів на процеси радіаційної лдеградації силіцієвих планарних структур. |
Від. щодо назв.: |
Автореф... Канд.техн.наук: 05.27.06 |
Відповідальність: |
Виткін С.В.; НАН Укр.Ін-т.фізики напівпровідників. |
Місто: | К |
Рік: | 1994 |
Сторінок: | 17л. |
ББК: |
З844 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|