Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Элек |
Автор: | Брюэр Дж. Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р., Хендерсон Р.К., Балантайн Дж.П. и др. |
Назва: | Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов |
Відповідальність: |
Брюэр Дж.Р. |
Видавництво: | Радио и связь |
Місто: | Москва |
Рік: | 1984 |
Сторінок: | 336 с. |
ББК: |
З8 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|