Опис документа:
| |
| Шифр: |
621.3 |
| Авт. знак: |
Харч |
| Автор: | Харченко В.В. |
| Назва: | Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем |
| Видавництво: | "Фан" Узбекской ССР |
| Місто: | Ташкент |
| Рік: | 1989 |
| Сторінок: | 167 с. |
| ББК: |
З2 |
| Тип документу: |
Книга |
| Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
|
|