Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Харч |
Автор: | Харченко В.В. |
Назва: | Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем |
Видавництво: | "Фан" Узбекской ССР |
Місто: | Ташкент |
Рік: | 1989 |
Сторінок: | 167 с. |
ББК: |
З2 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|