Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Тонк |
Назва: | Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике |
Видавництво: | Наука |
Місто: | Ленинград |
Рік: | 1972 |
Сторінок: | 114 с. |
ББК: |
З8 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|