Опис документа:
| |
| Шифр: |
016:6 |
| Авт. знак: |
Пине |
| Автор: | Пинес Б.Я., Рокицкая Я.П. |
| Назва: | Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии |
| Видавництво: | Электроника |
| Місто: | Москва |
| Рік: | 1971 |
| Номер частини: |
Ч. 2, Вып. 2 (166) |
| Сторінок: | 132 с. |
| ББК: |
Я1+З8 |
| Тип документу: |
Книга |
|
|