Опис документа:
| |
Шифр: |
016 |
Авт. знак: |
П |
Автор: | Пинес Б.Я.,Рокицкая Я.П. |
Назва: | Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии |
Місто: | М |
Рік: | 1971 |
Номер частини: |
2 |
Сторінок: | 132с. |
ББК: |
Я1+З8 |
Тип документу: |
Книга |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|