Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Плаз |
Автор: | Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д., Горчика Т., Горовитц Б. и др. |
Назва: | Плазменная технология в производстве СБИС |
Видавництво: | Мир |
Місто: | Москва |
Рік: | 1987 |
Сторінок: | 469 с. |
ББК: |
З8 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|