Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Панф |
Автор: | Панфилов Ю.В. |
Назва: | Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные работы |
Від. щодо назв.: |
учебник для средних специальных учебных заведений по специальности 0658 "Производство микроэлектронных устройств" |
Місто: | Москва |
Рік: | 1988 |
Сторінок: | 320 с. |
ББК: |
З8 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|