Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Моро |
Автор: | Моро У. |
Назва: | Микролитография |
Від. щодо назв.: |
принципы, методы, материалы: в двух частях |
Видавництво: | Мир |
Місто: | Москва |
Рік: | 1990 |
Номер частини: |
Ч. 2 |
Сторінок: | 632 с. |
ББК: |
З8 |
ISBN: | 5-03-001717-8 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Вибачте, зараз проходить оновлення бази системи, тому пошук тимчасово недоступний.
Спробуйте будь ласка через 20 хвилин
|
|