Опис документа:
| |
| Шифр: |
621.3 |
| Авт. знак: |
Моро |
| Автор: | Моро У. |
| Назва: | Микролитография |
| Від. щодо назв.: |
принципы, методы, материалы: в двух частях |
| Видавництво: | Мир |
| Місто: | Москва |
| Рік: | 1990 |
| Номер частини: |
Ч. 2 |
| Сторінок: | 632 с. |
| ББК: |
З8 |
| ISBN: | 5-03-001717-8 |
| Тип документу: |
Книга |
| Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
|
|