Опис документа:
| |
| Шифр: |
621.3 |
| Авт. знак: |
Моря |
| Автор: | Моряков О.С. |
| Назва: | Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве |
| Від. щодо назв.: |
[учебник для сред. проф.-техн. уч-щ] |
| Серія: |
Профтехобразование. Полупроводники |
| Відповідальність: |
Моряков Олег Сергеевич |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто: | Москва |
| Рік: | 1980 |
| Відомості про видання: |
2-е изд., перераб. и доп. |
| Сторінок: | 181 с. |
| ББК: |
З8 |
| Тип документу: |
Книга |
| Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
|
|
