Опис документа:
| |
| Шифр: |
53 |
| Авт. знак: |
Ионн |
| Назва: | Ионная имплантация |
| Від. щодо назв.: |
Пер.с англ. |
| Відповідальність: |
Под ред. Дж.К. Хирвонена |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто: | Москва |
| Рік: | 1985 |
| Сторінок: | 392 с. |
| ББК: |
В3 |
| Тип документу: |
Книга |
| Документ знаходиться у фонді ФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4, четвертий поверх, кім. 400,402. |
|
|
|
|