Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Изме |
Назва: | Измерение и контроль при производстве интегральных схем |
Відповідальність: |
Дубовой Н.Д. |
Місто: | Москва |
Рік: | 1984 |
Сторінок: | 116 с. |
ББК: |
З8 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|