Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Гран |
Автор: | Гранкин И.М., Коломейко А.В., Погребняк В.П. |
Назва: | Высокоразрешающая неорганическая фотолитография |
Місто: | Киев |
Рік: | 1983 |
Сторінок: | 53 с. |
ББК: |
З8+Э8+М8 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Вибачте, зараз проходить оновлення бази системи, тому пошук тимчасово недоступний.
Спробуйте будь ласка через 20 хвилин
|
|