Использование пучков заряженных частиц для ядерного легирования кремния и разработка методов радиационного геттерирования полупроводниковых СВЧ-приборов
Від. щодо назв.:
автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.07
Відповідальність:
Павленко Анатолий Алексеевич ; Киев. ун-т им. Тараса Шевченко
Місто:
Киев
Рік:
1993
Сторінок:
30 с.
ББК:
В
Тип документу:
Автореферат
З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека читачів не обслуговує.
