Опис документа:
| |
Автор: | Kolinko S.V., Kolinko I.S., Poloshii H.E. |
Назва: | Beam Scanning Controller for Proton-Beam Writing |
Видавництво: | V.N. Karazin Kharkiv national university |
Рік: | 2021 |
Сторінок: | C. 134-140 |
Тип документу: |
Стаття |
Головний документ: |
East european journal of physics |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|