У роботі досліджено системну організацію термінології нанотехнологій та шляхи творення термінів. Установлено, що термінологія нанотехнологій є складною сукупністю термінів, має певні ієрархічні рівні, репрезентовані відповідними одиницями. Розглянуто спеціальні назви, залучені з інших наукових та технічних галузей, що у сфері нанотехнологій або не змінили свого значення, або в результаті лексико-семантичних перетворень звузили його чи отримали нове термінологічне значення. Визначено нанотехнологічні терміни, утворені морфологічним (за допомогою афіксів, шляхом осново- та словоскладання) та синтаксичним способами.
