Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
164634 |
Автор: | Цибуленко В.В. |
Назва: | Розробка методу скануючої рідиннофазної епітаксії |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... канд. техн. наук (д-ра філософії) : 05.27.06 |
Відповідальність: |
Цибуленко Вадим Володимирович ; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова |
Місто: | Київ |
Рік: | 2021 |
Сторінок: | 20 с. |
ББК: |
621.315.592:548.25](043.3) |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|