Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
163644 |
Автор: | Косуля О.В. |
Назва: | Розробка методик мас-спектрометрії для дослідження діелектричних матриць та напружених нанорозмірних структур |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 |
Відповідальність: |
Косуля Олександр Валерійович ; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова |
Місто: | Київ |
Рік: | 2021 |
Сторінок: | 19 с. |
ББК: |
621.38:543.51](043.3) |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|