Опис документа:
| |
Автор: | Григорук В.І., Канєвський В.І., Колєнов С.О. |
Назва: | Аналітичний розрахунок умов субмікронного щавлення пласкої поверхні кварцу |
Видавництво: | РВВ ІМФ |
Рік: | 2019 |
Сторінок: | С. 637-648 |
Тип документу: |
Стаття |
Головний документ: |
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|