Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
160774 |
Автор: | Данько В.А. |
Назва: | Фізичні та технологічні основи процесів формування наноструктур методами інтерференційної літографії та термостимульованого розділу фаз |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... д-ра фіз.-мат. наук : 01.04.01 |
Відповідальність: |
Данько Віктор Андрійович ; Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України |
Місто: | Київ |
Рік: | 2019 |
Сторінок: | 32 с. |
ББК: |
535.394:539.216](043.3) |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|