Дослідження мікророзрядної системи з тангенціальною подачею газу
Видавництво:
Академперіодика
Рік:
2016
Сторінок:
С. 966-973
Тип документу:
Стаття
Головний документ:
Український фізичний журнал: науковий журнал / НАН України, Ін-т теоретичної фізики ім. М.М. Боголюбова ; редкол.: А.Г. Загородній, В.Г. Литовчинко, С.М. Рябченко [та ін.]. Т. 61, № 11. - Київ: Академперіодика, 2016
Анотація:
Проведено дослiдження мiкророзрядної системи за використання рiзних плазмоутворюючих газiв. Представлено результати по вимiряних вольт-амперних характеристиках та емiсiйної спектроскопiї. Визначено параметри заселення збуджених коливальних та обертальних рiвнiв компонент плазми.