In the paper we consider the method of polishing surface nano-roughness of quartz substrate using optical near-field dipoledipole interaction of atomic chlorine with quartz molecules. Atomic chlorine obtained by photodissociation of molecular chlorine via optical near field of quartz substrate surface nano-roughness. Polarization of chlorine atoms and quartz molecules made by evanescent wave generated on the substrate surface when it is irradiated with a green laser light from the opposite side at an angle no less than the angle of total internal reflection.
Розглянуто спосіб полірування нанонеоднорідностей поверхні кварцевої підкладинки за допомогою оптичної ближньопольової диполь-дипольної взаємодії атомарного хлору з молекулами кварцу. Атомарний хлор отримано шляхом фотодисоціації молекулярного хлору оптичним ближнім полем нанонеоднорідностей кварцевої підкладинки. Поляризацію атомів хлору та молекул кварцу здійснено еванесцентною хвилею, яка генерується на поверхні підкладинки при її опроміненнізеленим лазерним випромінюванням з протилежного боку під кутом, не меншим ніж кут повного внутрішнього відбиття.
Рассмотрено способ полировки нанонеоднородностей поверхности кварцевой подложки с помощью оптического ближнепольного диполь-дипольного в&заимодействия атомарного хлора с молекулами кварца. Атомарный хлор образовано путем фотодиссоциации молекулярного хлора оптическим ближним полем нанонеоднородностей кварцевой подложки. Поляризация атомов хлора и молекул кварца осуществлена эванесцент&ной волной, которая генерируется на поверхности подложки при ее облучении зеленым лазерным излучением с противоположной стороны под углом, не меньше чем угол полного внутреннего отражения.
