Исследование процесса наращивания автоэпитаксиальных слоев кремния с целью создания высокопроизводительного оборудования для получения структур большого диаметра
Від. щодо назв.:
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.17.16
Відповідальність:
Басовский Андрей Андреевич ; М-во высш. образования СССР ; Москов. ин-т электрон. техники
Місто:
Москва
Рік:
1978
Сторінок:
27 с.
ББК:
В379.212.6+З843.3
Тип документу:
Автореферат
З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека читачів не обслуговує.
Вибачте, зараз проходить оновлення бази системи, тому пошук тимчасово недоступний.
Спробуйте будь ласка через 20 хвилин