Опис документа:
| |
Шифр: |
A |
Авт. знак: |
Стру |
Автор: | Струков В.М. |
Назва: | Исследование локально-ускоренного термического оксидирования кремния, германия и арсенида галлия |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.17.14 |
Відповідальність: |
Струков Вячеслав Михайлович ; М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Моск. ин-т стали и сплавов |
Місто: | Москва |
Рік: | 1978 |
Сторінок: | 19, [1] с. |
ББК: |
К663.31 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|