Исследование и разработка методов ионноплазменного нанесения и травления диэлектрических покрытий для планарной технологии изготовления светоизлучающих диодов и цифро-знаковых индикаторов
Від. щодо назв.:
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18
Відповідальність:
Золотарев Юрий Михайлович ; М-во высш. и среднего спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. техники