Опис документа:
| |
Шифр: |
A |
Авт. знак: |
Коле |
Автор: | Колешко В.М. |
Назва: | Физико-химические методы стимулирования технологических процессов микроэлектроники |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.12.18 |
Відповідальність: |
Колешко Владимир Михайлович ; АН БССР, Ин-т электроники АН БССР |
Місто: | Минск |
Рік: | 1980 |
Сторінок: | 50 с. |
ББК: |
З844.1 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|