Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
Бобр |
Автор: | Бобров С.Т. |
Назва: | Методы анализа и изготовления дифракционных оптических элементов для микроэлектроники |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 |
Відповідальність: |
Бобров Сергей Тимофеевич ; Ленинград. политехн. ин-т им. М.И. Калинина |
Місто: | Ленинград |
Рік: | 1980 |
Сторінок: | 22 с. |
ББК: |
З844.1 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|