Исследование физико-химических процессов анизотропного и селективного по степени легирования травления кремния и их применение в технологии микроэлектроники
Від. щодо назв.:
автреф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18
Відповідальність:
Вишнева Татьяна Ивановна ; Москов. ин-т электронной техн.