Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
Ники |
Автор: | Никифоренко Н.Н. |
Назва: | Исследование процессов удаления фоторезиста и травления окисла кремния в плазме высокочастотного индукционного разряда |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 |
Відповідальність: |
Никифоренко Николай Николаевич ; Ин-т физики АН БССР |
Місто: | Минск |
Рік: | 1980 |
Сторінок: | 16 с. |
ББК: |
З844.15-06 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|