Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
Швед |
Автор: | Шведова В.В. |
Назва: | Исследование тенденций и прогнозирование развития эпитаксиальных процессов в технологии микроэлектроники |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 |
Відповідальність: |
Шведова Вера Владимировна ; Москов. ин-т электронной техники |
Місто: | Москва |
Рік: | 1979 |
Сторінок: | 21 с. |
ББК: |
З844.1 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|