Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
Лучи |
Автор: | Лучинин В.В. |
Назва: | Гетероэпитаксия и микропрофилирование в технологии карбида кремния |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. … канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 |
Відповідальність: |
Лучинин Виктор Викторович ; М-во высш. и среднего спец. образования РСФСР, Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина) |
Місто: | Ленинград |
Рік: | 1978 |
Сторінок: | 24 с. |
ББК: |
В379.2+З843 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|