Головна сторiнка
eng
Наукова бібліотека ім. М. Максимовича UNDP in Ukraine
Увага! Відтепер можна отримати пластиковий читацький квиток також за адресою:
проспект академіка Глушкова 2, кім. 217.

Подробиці читайте тут.
Список містить (0 документів)
Ваше замовлення (0 книжок)
Перегляд стану та історії замовлень
Допомога

Назад Новий пошук

Опис документа:

Автор: Rozouvan T.S., Poperenko L.V., Shaykevich I.A.
Назва: Influence of the surface roughness and oxide surface layer onto Si optical constants measured by the ellipsometry technique
Рік:
Сторінок: Р. 26-30
Тип документу: Стаття
Головний документ: Semіconductor physics, quantum electronics & optoelectronics
Анотація:   Si crystal surface after chemical etching was studied using ellipsometry, atomic force microscopy and scanning tunneling microscopy. The ellipsometric parameters as functions of light incidence angles at two light wavelengths 546.1 and 296.7 nm were measured. The calculations based on equations for the plane surface have shown that the refractive index and absorption coefficient values are different from those determined earlier. Two models for surface layers were developed. After etching, the upper layer contains chemical compounds and the lower layer characterizes the sample roughness. By applying Airy"s formula to ellipsometric data, optical constants and thicknesses of the layers were obtained. The calculated values of bulk Si optical constants wholly correspond to the data from literature. The calculated thickness of the lower layer is similar to that obtained through scanning tunneling microscopy measurements. Calculations based on Maxwell-Garnett and Bruggeman equations were performed to determine the content of silicon particles within the lower rough layer.



Пошук: заповніть хоча б одне з полів


Шукати серед складових частин документу "Semіconductor physics, quantum electronics & optoelectronics"
Розділ:
Назва:
Будь ласка, пишіть 2-3 слова з назви БЕЗ ЗАКІНЧЕНЬ!
Так імовірніше знайти потрібний документ!
слова не коротші ніж 3 символів, розділені пробілами
Автор:
Будь ласка, пишіть прізвище автора без ініціалів!
не коротше ніж 2 символи
є повний текст
Рік видання:
Видавництво:
з     по  
Види документів:
 Книга  Брошура  Конволют (штучно створена збірка)  Рідкісне видання
 Автореферат  Дисертація
 Журнал  Газета
 Стаття  Складова частина документа
Новий тематичний пошук
       
      
        
Цей сайт створено за спiльною програмою UNDP та
Київського нацiонального унiверситету iменi Тараса Шевченка
проект УКР/99/005

© 2000-2010 yawd, irishka, levsha, alex